Sistem za čiščenje visoko čistega dušika za polprevodniške aplikacije
Naprava za čiščenje dušika z dodajanjem in deoksidacijo ogljika dodatno obdela 99,9 % dušika, pridobljenega iz mehanizma za proizvodnjo dušika, pri čemer 0,1 % kisika v dušiku kemično reagira z deoksidatorjem ogljika, da nastane ogljikov dioksid, in nadalje odstrani ogljikov dioksid in vodno paro iz dušika, s čimer prečisti dušik na več kot 99,999 %, s čimer izboljša kakovost proizvedenega plina in se prilagodi industrijam s posebnimi zahtevami glede čistosti in kakovosti plina.
Sistem za čiščenje visoko čistega dušika za polprevodniške aplikacije
Področje uporabe
Primerno za uporabnike dušika visoke čistosti, zlasti za magnetne materiale, elektronsko industrijo in druge procese, ki imajo stroge zahteve glede kisika in vodika.
Tehnični parametri
| Model | (Nm³/h) | DN (mm) Vhod/Izhod Premer | (kg) Teža ogljika deoksidator | Hlajenje voda (t/h) | Uporabljena moč(kW) | Območje opreme velikost(mm) | (HBTDC)Teža molekulske mase 13 X sito(kg) | |||
| LGBT | HBTDC | LGBT | HBTDC | LGBT | HBTDC | |||||
| LGBT-130 | HBTDC-130 | ≤30 | DN25 | 130 | 0,2 | 9 | 12 | 2000*1350*2300 | 2500*1350*2300 | 75 |
| LGBT-200 | HBTDC-200 | ≤60 | DN40 | 200 | 0,5 | 18 | 22,5 | 2200*1550*2600 | 2700*1550*2600 | 100 |
| LGBT-240 | HBTDC-240 | ≤100 | DN40 | 240 | 0,8 | 24 | 30 | 2350*1850*2850 | 2850*1850*2850 | 160 |
| HBT-380 | HBTDC-380 | ≤150 | DN50 | 380 | 1.1 | 27 | 36 | 2650*1700*3350 | 3150*1700*3350 | 230 |
| HBT-430 | HBTDC-430 | ≤200 | DN50 | 430 | 1,5 | 39 | 48 | 3050*1700*3000 | 3550*1700*3000 | 230 |
| HBT-670 | HBTDC-670 | ≤250 | DN50 | 670 | 1,9 | 45 | 57 | 3250*1800*3100 | 3750*1800*3100 | 260 |
| HBT-720 | HBTDC-720 | ≤300 | DN65 | 720 | 2.2 | 45 | 57 | 3250*2100*3200 | 3750*2100*3200 | 260 |
| HBT-1200 | HBTDC-1200 | ≤400 | DN65 | 1200 | 3 | 54 | 66 | 3400*2100*3700 | 3900*2100*3700 | 260 |
| LGBT-1440 | HBTDC-1440 | ≤600 | DN65 | 1440 | 4.4 | 75 | 90 | 3800*2950*3800 | 4300*2950*3800 | 380 |
| HBT-2400 | HBTDC-2400 | ≤1000 | DN65 | 2400 | 7.4 | 90 | 105 | 5350*2950*4000 | 5850*2950*4000 | 380 |
| Opomba: Zgornji podatki temeljijo na dovodnem zraku 0,8 Mpa(G), temperaturi okolice 20 ℃, nadmorski višini 0 m in relativni vlažnosti 80 % kot osnova za načrtovanje. Opomba 2: Moč se izračuna na podlagi pretoka. Moč v tabeli je določena glede na pretok pri čistosti 39 %. | ||||||||||
