Čistilec/čistilni sistem/generator plinov ultra visoke čistosti

Področja uporabe: elektronski polprevodniki, velika integrirana vezja, MAMS, monokristalni silicij, polikristalni silicij in silicijeva epitaksija, LED, TFT, galijev nitrid, silicijev karbid, znanstvene raziskave in razvoj, eksperimentalne analize itd.

Email

Značilnosti

● Dva stolpa izmenično regenerirata adsorpcijo, samodejno neprekinjeno delovanje.
● Polirani cevni fitingi iz nerjavečega jekla razreda EP 316L.
● Stopnja odstranitve do 99,9999999 % z 0,003 µm filtrom.
● Siemensov PLC je mogoče priključiti na sistem DCS.
● Funkcija varnostnega alarma je popolna.
● Na voljo je oddaljena storitev v oblaku.
● Proizvodnja in montaža v izjemno čistem okolju.
● Pretok plina 10–20000 nm3/h.

Parametri tabele

Serijski modeli

Za plin

Indeks surovega plina

Indeks produktnega plina

TA2

H2TA

CO2

CH4

Granularnost

9VV

●

≤0,1 ppb

—

≤0,1 ppb

—

0,003 mm

9OVV

●

—

●

≤0,1 ppb

—

0,003 mm

9VVX

—

●

≤0,1 ppb

0,003 mm

—

●

—

≤0,1 ppb

—

≤0,1 ppb

0,003 mm

9-kratna

—

●

≤0,1 ppb

0,003 mm

—

●

—

≤0,1 ppb

—

≤0,1 ppb

0,003 mm

Opomba: Splošne specifikacije pretoka:1–20000 Nm3/h;Pogosto uporabljen tlak:1–20 MPa

označevanje izdelkov:

Čistilec plina Sistem za čiščenje plina Plinski generator Ultra visoko čist čistilec plinov

Dobite najnovejšo ceno? Odgovorili bomo čim prej (v roku 12 ur)